8月1日，美國商務(wù)部宣布，BIS（美國商務(wù)部工業(yè)安全局）以國家安全和外交利益為由，將44家中國企業(yè)列入出口管制實(shí)體清單，而這44家企業(yè)大多為軍工研究企業(yè)，主要涉及中國航天科學(xué)與工業(yè)總公司（航天科工）及中國電子科技集團(tuán)公司（中國電科）旗下部分企業(yè)。

這意味著，美國正式對我國部分企業(yè)進(jìn)行高端技術(shù)封鎖。

眾所周知，我國軍工企業(yè)及高校自1989年年末就在北約國家禁運(yùn)名單上了。很多人一致認(rèn)為，經(jīng)過30年的發(fā)展，我國軍工企業(yè)國產(chǎn)化及自主化程度已很高，對美國的依賴度極低。事實(shí)上，負(fù)責(zé)軍品研究與制造的企業(yè)，受影響不大，但另外一部分涉及到民用產(chǎn)品的企業(yè)卻與美國公司有諸多直接或間接的來往。

據(jù)《財(cái)經(jīng)》報(bào)道，多位相關(guān)人士表示，此前美國一直態(tài)度模糊，這是第一次明確、公開實(shí)施“出口管制”。同時(shí)，因?yàn)闃I(yè)務(wù)范圍不同，44家公司受影響程度也不同。同時(shí)，報(bào)道稱，一位國外芯片代理商銷售總監(jiān)表示，一些芯片代理商已經(jīng)停止向這44家企業(yè)發(fā)貨，而這些企業(yè)的備件最多只能周轉(zhuǎn)三個(gè)月。

國產(chǎn)替代仍需時(shí)日，美國高端技術(shù)封鎖是否向半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域蔓延備受關(guān)注

盡管此次美國高端技術(shù)封鎖，涉及到的是中國電科下屬的研究所以及研究所下屬的公司。但不少業(yè)內(nèi)人士擔(dān)心技術(shù)封鎖會(huì)延伸到半導(dǎo)體設(shè)備或者材料領(lǐng)域。

此前，市場就表現(xiàn)出了對半導(dǎo)體設(shè)備被特朗普政府納入出口管制清單的極度擔(dān)憂，這種擔(dān)憂在美國市場與中國市場同樣存在。

前十大半導(dǎo)體設(shè)備廠商中，美國廠商占據(jù)了近一半的席位，在我國大力發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的背景下，國際半導(dǎo)體設(shè)備廠商紛紛表示要助力中國半導(dǎo)體成長，并看好自身在中國市場的機(jī)遇；而半導(dǎo)體設(shè)備一直是我國最薄弱的一個(gè)環(huán)節(jié)，主要依賴于進(jìn)口，本土半導(dǎo)體設(shè)備廠商市占率僅占全球份額的1-2%。

天風(fēng)證券研究所研究報(bào)顯示，當(dāng)前我國處于中端設(shè)備實(shí)現(xiàn)突破、初步產(chǎn)業(yè)鏈成套布局的階段，高端制程/產(chǎn)品仍需攻克，短期內(nèi)可通過與非美海外企業(yè)合作，降低對美國的依賴。

北京半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)技術(shù)研究部部長朱晶曾表示，這44家軍工企業(yè)的部分業(yè)務(wù)是長期被技術(shù)封鎖的，目前影響并不好估計(jì)，有很多觀點(diǎn)說利好國內(nèi)設(shè)備，但其實(shí)國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備替代的過程相當(dāng)漫長，所以一旦技術(shù)封鎖升級到涉及民用業(yè)務(wù)，受傷害的會(huì)是半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈，沒有一個(gè)環(huán)節(jié)，一個(gè)公司可以避開影響。

綜合以上觀點(diǎn)，尋求國產(chǎn)設(shè)備替代仍需一些時(shí)間。

那么，我國半導(dǎo)體設(shè)備究竟是怎樣的水平？美國對我國的高端技術(shù)封鎖是否會(huì)對我國半導(dǎo)體設(shè)備/半導(dǎo)體設(shè)備廠商產(chǎn)生影響？下面我們就結(jié)合天風(fēng)證券的研究報(bào)告來解析一下這些問題。

我國半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展水平現(xiàn)狀

我國半導(dǎo)體設(shè)備廠商起步晚，整體規(guī)模較小。根據(jù)中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)的統(tǒng)計(jì)，2016年我國前十大半導(dǎo)體設(shè)備廠商共完成銷售48.34億元人民幣，與國內(nèi)設(shè)備市場規(guī)模相距甚遠(yuǎn)。2017年體量最大的中電科和晶盛機(jī)電營收在10億元左右體量徘徊，我們估算國內(nèi)設(shè)備銷售額總量占世界半導(dǎo)體銷售規(guī)模僅2%左右。

半導(dǎo)體設(shè)備類型極其繁多，可按照工藝流程可分為晶圓制造設(shè)備、測試設(shè)備、封裝設(shè)備、前端相關(guān)設(shè)備四大類，其中，晶圓制造設(shè)備又可分為8類。賽迪顧問股份有限公司副總裁李珂曾表示，我國設(shè)備僅在部分品種實(shí)現(xiàn)了單點(diǎn)突破，等離子刻蝕機(jī)、MOCVD、清洗劑等設(shè)備已實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化，但尚不具備面向先進(jìn)工藝的成套工藝能力。

天風(fēng)證券研究數(shù)據(jù)表明，國產(chǎn)設(shè)備已形成初步產(chǎn)業(yè)鏈成套布局，部分設(shè)備實(shí)現(xiàn)批量應(yīng)用，預(yù)計(jì)部分設(shè)備在短期1-2年內(nèi)可逐步實(shí)現(xiàn)訂單轉(zhuǎn)移。國內(nèi)設(shè)備在關(guān)鍵領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了產(chǎn)業(yè)鏈成套布局——曝光Liho、刻蝕ETCH、薄膜CVD、濕法WET、檢測、熱處理、測試等環(huán)節(jié)，且部分工藝制程能夠滿足國內(nèi)客戶的需求，目前已有多項(xiàng)產(chǎn)品已經(jīng)批量出貨，其中主要的廠商有北方華創(chuàng)、中微半導(dǎo)體、 睿勵(lì)科儀和上海盛美半導(dǎo)體等。

此外，由上圖可以看到我國在光刻機(jī)等領(lǐng)域，技術(shù)節(jié)點(diǎn)要落后國際先進(jìn)水平很多。天風(fēng)證券研究數(shù)據(jù)顯示，目前世界半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)水平處于12英寸7nm，生產(chǎn)水平達(dá)到12英寸14nm；而我國設(shè)備研發(fā)水平還處于12英寸14nm，生產(chǎn)水平為12英寸65-28nm。

總體來看，國產(chǎn)設(shè)備在先進(jìn)制程上與國際先進(jìn)水平有2-6年的時(shí)間差；具體來看，65/55/40/28nm光刻機(jī)、40/28nm的化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)國產(chǎn)化率依然為0，28nm化學(xué)氣相沉積設(shè)備、快速退火設(shè)備、國產(chǎn)化率很低。

一位知名IC人士曾向集微網(wǎng)記者表示，我國半導(dǎo)體設(shè)備落后的原因是多方面的，并非是設(shè)備廠商自身的原因，大家都知道精密的設(shè)備需要精密的組件，而精密的組件又需要精密的設(shè)備來制作，因此產(chǎn)業(yè)鏈的協(xié)同發(fā)展是半導(dǎo)體設(shè)備取得突破的關(guān)鍵。目前看，半導(dǎo)體設(shè)備尤其是高端半導(dǎo)體設(shè)備，即便是自主化的設(shè)備，很多關(guān)鍵零部件與流程設(shè)計(jì)仍掌握在美日韓歐的企業(yè)手中。

將天風(fēng)證券研究匯總的半導(dǎo)體設(shè)備國內(nèi)主要參與者與被列入管制名單的44家企業(yè)進(jìn)行比對，可發(fā)現(xiàn)這些參與者并未被列入新增的出口管制實(shí)體清單。這在一定程度上說明，這些企業(yè)在關(guān)鍵零部件與流程設(shè)計(jì)上或許被未被嚴(yán)格“扼殺”。

目前看，我國在中端設(shè)備領(lǐng)域，已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了從無到有的突破。但光刻機(jī)領(lǐng)域，一直是我國的一個(gè)最大短板，國產(chǎn)化率極低，且高端的EUV光刻機(jī)只能從ASML采購。

2008年之前我國半導(dǎo)體設(shè)備基本全靠進(jìn)口，隨后我國通過設(shè)立“02專項(xiàng)”實(shí)現(xiàn)了部分設(shè)備的國產(chǎn)化，縮小了與國際領(lǐng)先水平的差距——介質(zhì)刻蝕機(jī)方面：中微半導(dǎo)體進(jìn)入7nm制程，成為臺(tái)積電五大供貨商之一；硅刻蝕機(jī)方面，北方華創(chuàng)進(jìn)入中芯國際28nm生產(chǎn)線；沈陽拓荊量產(chǎn)12英寸65nm的PECVD設(shè)備等。

封裝制程工藝設(shè)備：刻蝕機(jī)、 PVD、光刻機(jī)、清洗機(jī)等關(guān)鍵設(shè)備已經(jīng)基本實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化，根據(jù)SEMI的數(shù)據(jù)顯示，蝕刻設(shè)備國產(chǎn)化率從10年0%提升到16年的96%，封裝PVD設(shè)備從12年0%提升到16年的68%。

02專項(xiàng)支持的唯一高端光學(xué)技術(shù)研發(fā)單位國科精密，該團(tuán)隊(duì)承擔(dān)NA0.82、NA1.35等多種類型高端IC制造投影光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)的技術(shù)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化推進(jìn)工作，李佩玥博士表示：“2013年的時(shí)候，我們還不知道是否可以完成這個(gè)項(xiàng)目，畢竟在此領(lǐng)域國內(nèi)是一片空白的情況，而項(xiàng)目的難點(diǎn)在于，除了機(jī)械材料與光學(xué)材料可以通過‘拿來主義’實(shí)現(xiàn)供給，其他全部要靠自己，比如光學(xué)加工、光學(xué)檢測等。我們團(tuán)隊(duì)備感使命厚重，所以周末加班、熬夜攻關(guān)都是自發(fā)的行為。值得驕傲的是，短短幾年時(shí)間，我們就完成了這個(gè)項(xiàng)目。”

可見，我國在自主半導(dǎo)體設(shè)備尤其是光刻機(jī)及相關(guān)配套設(shè)備的推進(jìn)過程中，是極其艱難的。

助力我國IC產(chǎn)業(yè)發(fā)展，半導(dǎo)體設(shè)備上市公司不斷擴(kuò)大產(chǎn)業(yè)布局

北方華創(chuàng)，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭北方華創(chuàng)由七星電子和北方微電子戰(zhàn)略重組而成，主要產(chǎn)品包括高端電子工藝裝備和精密電子器件，構(gòu)建了半導(dǎo)體裝備、真空裝備、新能源鋰電裝備和精密電子元器件四大產(chǎn)業(yè)平臺(tái)，已完成ETCH、PVD、清洗機(jī)、氧化爐、LOCVD（低氣壓化學(xué)氣相沉積）、ALD（原子層沉積）和氣體質(zhì)量控制器（MFC）等多個(gè)項(xiàng)目，是國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭，研發(fā)能力全國領(lǐng)先，訂單持續(xù)驗(yàn)證。如今，北方華創(chuàng)28mm設(shè)備陸續(xù)實(shí)現(xiàn)商用化，應(yīng)用于14mm制程的等離子刻蝕機(jī)處于研發(fā)階段。

北方華創(chuàng)也在不斷擴(kuò)大其產(chǎn)業(yè)布局及生產(chǎn)能力，例如2017年收購美國Akrion Systems LLC公司，拓展其清洗機(jī)設(shè)備產(chǎn)品線；今年5月北方華創(chuàng)二期項(xiàng)目（微電子裝備擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目）正式投入生產(chǎn)，預(yù)計(jì)可新增百余臺(tái)設(shè)備的生產(chǎn)能力，產(chǎn)能大幅提升。

與此同時(shí)，進(jìn)一步加快同中芯國際等企業(yè)合作，完善集成電路產(chǎn)業(yè)布局。

晶盛機(jī)電，硅片制造設(shè)備2012年，晶盛機(jī)電承擔(dān)02專項(xiàng)硅單晶設(shè)備研制項(xiàng)目，成功生長出目前國內(nèi)最大的18英寸半導(dǎo)體級硅單晶棒。目前，晶盛機(jī)電已掌握12英寸集成電路用硅片晶體生長技術(shù)，并成功銷往臺(tái)灣；同時(shí)6-8英寸的設(shè)備也被多家國內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)采購。

晶盛機(jī)電是國內(nèi)技術(shù)先進(jìn)的光伏及半導(dǎo)體晶體硅生長設(shè)備供應(yīng)商，主要產(chǎn)品有單晶生長爐、多晶硅鑄錠爐、藍(lán)寶石晶體爐、區(qū)熔硅單晶爐、單晶硅滾圓機(jī)、單晶硅截?cái)鄼C(jī)等，已覆蓋大硅片多數(shù)中后端加工設(shè)備，其下游客戶涵蓋了除隆基以外的所有硅片廠家，包括中環(huán)、晶科、晶澳、保利協(xié)鑫等。

晶盛機(jī)電采取綁定客戶共同成長的策略，半導(dǎo)體設(shè)備有望接力光伏設(shè)備產(chǎn)品，成為其新的增長點(diǎn)。中環(huán)集團(tuán)為公司的光伏和半導(dǎo)體設(shè)備的大客戶，公司前瞻性的通過投資參股形式共同成立單晶硅生長企業(yè)“中環(huán)領(lǐng)先”，該項(xiàng)目致力于“半導(dǎo)體級單晶硅”領(lǐng)域的突破。既能幫助晶盛機(jī)電進(jìn)行半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)，又利于半導(dǎo)體設(shè)備的市場擴(kuò)展。

今年7月，晶盛機(jī)電發(fā)布公告稱，收到中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體材料有限公司的中標(biāo)通知書，成功中標(biāo)中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體材料有限公司集成電路用8-12 英寸半導(dǎo)體硅片項(xiàng)目四工段設(shè)備采購第一包和第二包，共計(jì)4.03億元人民幣。

據(jù)悉，截至2016年底，長川科技在測試機(jī)、分選機(jī)兩大核心產(chǎn)品領(lǐng)域已取得57項(xiàng)專利權(quán)，29項(xiàng)軟件著作權(quán)，打破了被國外壟斷的技術(shù)壁壘。自2013年起，長川科技將產(chǎn)品升級作為銷量核心驅(qū)動(dòng)力，持續(xù)推出新產(chǎn)品并進(jìn)行產(chǎn)品升級，不斷打破行業(yè)競爭加強(qiáng)對企業(yè)毛利帶來的局限，準(zhǔn)確把握國產(chǎn)替代機(jī)遇。

貿(mào)易戰(zhàn)或促使半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化進(jìn)程加速，可與非美海外企業(yè)合作根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)預(yù)計(jì)，未來17-20年間投產(chǎn)的62座晶圓廠中26座設(shè)于大陸，其中半導(dǎo)體設(shè)備是晶圓代工廠的最大投資項(xiàng)，約占70-80%。后續(xù)隨著國內(nèi)在建產(chǎn)線的落地，以及良率的爬升、產(chǎn)能的擴(kuò)充，屆時(shí)對設(shè)備的需求會(huì)進(jìn)一步提升，在未來幾年內(nèi)仍會(huì)是出現(xiàn)一個(gè)設(shè)備需求的高峰期。

業(yè)內(nèi)人士認(rèn)為，我國半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的業(yè)務(wù)基本集中于國內(nèi)，在不受高端技術(shù)封鎖的前提下，我國半導(dǎo)體設(shè)備廠商受貿(mào)易戰(zhàn)影響甚微，而這些廠商也將成為在這次晶圓廠建設(shè)的浪潮中深度受益者，例如晶盛機(jī)電。

且不提此次美國發(fā)起的貿(mào)易戰(zhàn)與高端技術(shù)封鎖，多年來，在“瓦圣納協(xié)議”的技術(shù)封鎖下，我國在半導(dǎo)體核心設(shè)備特別是晶圓制造設(shè)備的采購中面臨諸多困難，半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化必然的選擇。業(yè)內(nèi)人士表示，美國發(fā)起的貿(mào)易戰(zhàn)與高端技術(shù)封，讓我們再次深刻意識(shí)到我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)存在的短板，這將促使半導(dǎo)體設(shè)備加速國產(chǎn)化。當(dāng)然，這仍需要一個(gè)漫長的過程，可加強(qiáng)與非美海外企業(yè)合作，加速這一過程。這恰與天風(fēng)證券研究員的觀點(diǎn)一致。