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奧曼特

15年硅片清洗干燥解決方案綜合服務(wù)商專(zhuān)注提供研發(fā)·設(shè)計(jì)·制造·銷(xiāo)售一站式服務(wù)
硅片清洗干燥設(shè)備  認(rèn)準(zhǔn)奧曼特

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  • 8工位3-8寸半導(dǎo)體硅片晶圓旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)
8工位3-8寸半導(dǎo)體硅片晶圓旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)

產(chǎn)品介紹:

硅片旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)用于清洗甩干太陽(yáng)能硅片和半導(dǎo)體硅片,是濕法清洗工藝的主要設(shè)備,目前主要機(jī)型有四工位,六工位和八工位系列。主要工作過(guò)程為:噴淋旋轉(zhuǎn)沖洗+離心甩干+氮?dú)饧訜岷娓伞?

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介 / Introduction

技術(shù)參數(shù)

型號(hào) model 太陽(yáng)能行業(yè) Solar
SG11 SG12
工作腔數(shù)量 8 8
硅片規(guī)格   mm 2.5", 3", 4", 5", 6",8"156 25片盒 2.5", 3", 4", 5" , 6",8"156 50片盒
旋轉(zhuǎn)速度   r/min 0-900 0-900
氮?dú)鈮毫? 0.3
去離子水壓力 0.3
電阻率監(jiān)控 可選 optional
氮?dú)饷芊?Nitrogen seal 有 Yes
空/氮?dú)夂娓? 有 Yes
氮?dú)饧訜岱绞? 熱傳導(dǎo) Heat exchange
氮?dú)饧訜釡囟? 30-120℃ PID控溫 30-120℃ PID control
輔助加熱系統(tǒng) 有 Yes
腔體電化學(xué)拋光 可選 optional
電機(jī)驅(qū)動(dòng) 變頻調(diào)速 Speed regulating by frequency conversion
控制系統(tǒng) PLC可編程控制器 PLC
控制顯示器 液晶觸摸屏 LCD touch screen
外型尺寸(長(zhǎng)x寬x高)mm 1040x1095x894 1636X1552X1007 1250x1296x970 1376x1296x1007
電源功率   kw 5 6 6 6
電壓 / 頻率 AC380V 50HZ (三相四線)  / AC380V 50HZ (3-phase)

結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

1. 整個(gè)甩干過(guò)程一般只需5-6分鐘;
2. 設(shè)備的外露面為進(jìn)口PP板,外形美觀,耐酸氣腐蝕;
3. 工作腔、旋轉(zhuǎn)支架和裝片盒等主要部件采用耐腐蝕不銹鋼,并且表面電化學(xué)拋光處理;
4. 旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)經(jīng)過(guò)精密動(dòng)平衡處理,保證工作時(shí)的平衡性;
5. 采用特種減振器,精密減振和阻尼,保證系統(tǒng)的穩(wěn)定;
6. 采用了潔凈化處理技術(shù),閥門(mén)、接頭和管道采用不銹鋼、PFA高純管件和聚四氟;
7. 采用油壓缸自動(dòng)開(kāi)門(mén)關(guān)門(mén), 平穩(wěn)安全可靠;
8. 采用油浴爐或氣體加熱器加熱氮?dú)?,熱量足,溫度穩(wěn)定,加熱溫度實(shí)時(shí)監(jiān)控,并顯示在液晶屏上,并有雙重安全保護(hù);
9. 特制噴頭和氣液流體控制系統(tǒng), 全自動(dòng)切換;
10. 頂蓋采用電加熱板輔助加熱,保證頂蓋烘干后不滴水;
11. 工作腔采用防靜電控制。

電氣控制

1. 采用PLC可編程控制器和觸摸屏控制,整個(gè)過(guò)程智能化;
2. 程序設(shè)計(jì)可靠, 速度調(diào)節(jié)、溫度調(diào)節(jié)和時(shí)間調(diào)節(jié)等都可以在觸摸屏上設(shè)定、修改和保存;
3. 采用變頻技術(shù)控制轉(zhuǎn)速,加減速平穩(wěn),清洗和甩干速度按工藝要求設(shè)定,并實(shí)時(shí)顯示在液晶屏上;
4. 采用電子制動(dòng),制動(dòng)時(shí)間控制在15秒之內(nèi);
5. 控制軟件具有故障實(shí)時(shí)顯示和報(bào)警功能;
6. 采用了工作過(guò)程狀態(tài)監(jiān)控,門(mén)位置狀態(tài)監(jiān)控與互鎖,氮?dú)饧訜釡囟葘?shí)時(shí)監(jiān)控,緊急停止按鈕等安全措施。

產(chǎn)品展示

甩干機(jī)1

全自動(dòng)硅片旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)

甩干機(jī)3

公司優(yōu)勢(shì)

領(lǐng)軍品牌 實(shí)力保障

品牌實(shí)力品牌 多重保障

15年行業(yè)經(jīng)驗(yàn),專(zhuān)注研發(fā)生產(chǎn)半導(dǎo)體/太陽(yáng)能光伏清洗設(shè)備

國(guó)家高新技術(shù)產(chǎn)品,率先通過(guò)ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證

下設(shè)2個(gè)分廠:新余市奧曼特科技有限公司、無(wú)錫凌晶硅科技有限公司

銷(xiāo)售及服務(wù)網(wǎng)絡(luò)遍布全國(guó),為您提供優(yōu)越技術(shù)培訓(xùn)·售后服務(wù)

專(zhuān)業(yè)研發(fā) 非標(biāo)定制

定制研發(fā)設(shè)計(jì) 非標(biāo)定制

由碩士高級(jí)工程師等組成的研發(fā)團(tuán)隊(duì),技術(shù)過(guò)硬,實(shí)力雄厚

建立國(guó)內(nèi)硅片切割加工設(shè)備生產(chǎn)實(shí)驗(yàn)線

2007年“硅片旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)”評(píng)為國(guó)家高新技術(shù)產(chǎn)品

榮獲多項(xiàng)硅片加工設(shè)備專(zhuān)利,研發(fā)定制技術(shù)時(shí)刻保持行業(yè)前沿

非標(biāo)定制,可根據(jù)客戶需求進(jìn)行量身定制清洗解決方案

匠心工藝 國(guó)際品質(zhì)

品質(zhì)匠心工藝 國(guó)際品質(zhì)

擁有超8000㎡專(zhuān)業(yè)化規(guī)模生產(chǎn)基地,設(shè)備齊全

嚴(yán)格按照ISO9001:2000標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量管理體系進(jìn)行設(shè)計(jì)·生產(chǎn)·服務(wù)

設(shè)備產(chǎn)品性能穩(wěn)定,使用壽命長(zhǎng),質(zhì)量可靠

自主研發(fā),自有工廠,廠家直銷(xiāo),性價(jià)比高

免費(fèi)定制 貼心售后

服務(wù)免費(fèi)定制 貼心售后

根據(jù)客戶需求免費(fèi)設(shè)計(jì)圖紙/定制解決方案

奧曼特全線產(chǎn)品享受免費(fèi)上門(mén)安裝調(diào)試

每款產(chǎn)品配套有調(diào)試操作視頻,手把手教您操作使用

7*24小時(shí)快速響應(yīng),客服團(tuán)隊(duì)隨時(shí)待命,確保設(shè)備正常運(yùn)行

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壓縮機(jī)環(huán)形清洗機(jī)用于汽車(chē)空調(diào)壓縮機(jī)的清洗,也可用于其他小零件的環(huán)形清洗,結(jié)構(gòu)形式為環(huán)形鏈傳動(dòng)步進(jìn)。零件的清洗、吹干、干燥等均自動(dòng)完成。工藝流程:上料—清洗—漂洗—壓縮空氣吹干—熱風(fēng)烘干—下料