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奧曼特

15年硅片清洗干燥解決方案綜合服務(wù)商專注提供研發(fā)·設(shè)計·制造·銷售一站式服務(wù)
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潔凈石墨舟烘箱

產(chǎn)品應(yīng)用于光伏行業(yè)PECVD石墨舟的烘干,是石墨舟酸清洗后烘干的必備設(shè)備。

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產(chǎn)品簡介 / Introduction

技術(shù)參數(shù)


1

型號

SMH31

SMH22

SMH26

SMH11

SMH06

2

工作室尺寸

(寬×深×高)mm

2100×2000×1430

1900×2000×1430

2100×1320×1430

1870×172 0×1320

1870×132 0×1320

3

外形尺寸

(寬×深×高)mm

2920×2275×2580

2750×2275×2560

2950×1595×2425

2450×21 00×2300

24517 00×2300

4

最大石墨舟尺寸: mm

L1935×W458mm/H280

L1750×W455×H260

L1890×W350×H250

L1695×W391× H264

L1695×W400.5× H233

5

產(chǎn)能

每層4個石墨舟,三層共12個舟

每層4個石墨舟,三層共12個舟

每層3個石墨舟三層共9個舟

每層4個石墨舟三層共12個舟

每層3個石墨舟三層共9個舟

6

溫度范圍

RT+10~+250

RT+10~+250

RT+10~+250

RT+10~+250

RT+10~+250

7

溫控精度 ℃

±2

±2

±2

±2

±2

8

溫度均勻度

±2

±2

±2

±2

±2

9

電源電壓

AC380V  50HZ

AC380V  50HZ

AC380V  50HZ

AC380V  50HZ

AC380V  50HZ

10

設(shè)備總功率 (KW)

45

39

26

26

26


結(jié)構(gòu)特點


一、產(chǎn)品特點及用途

1.產(chǎn)品特點

該設(shè)備是一種新型工業(yè)級潔凈干燥設(shè)備,采用獨特的內(nèi)外層分體結(jié)構(gòu)結(jié)合內(nèi)循環(huán)風(fēng)道設(shè)計,通過耐高溫超高效過濾器H.E.P.A不斷對內(nèi)部進行自凈化過濾,從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的高溫?zé)犸L(fēng)烘烤環(huán)境。

2. 產(chǎn)品用途

產(chǎn)品應(yīng)用于光伏行業(yè)PECVD石墨舟的烘干,是石墨舟酸清洗后烘干的必備設(shè)備。

二、產(chǎn)品詳細參數(shù);

1.箱體結(jié)構(gòu)

1.1.內(nèi)膽:材質(zhì)為厚度1.5mm的SUS316L不銹鋼,表面特氟龍涂層,涂層厚度60微米,使用過程不脫落。也可以根據(jù)客戶要求定制2507耐高溫耐腐蝕雙相不銹鋼,表面特氟龍涂層。箱體內(nèi)膽氬弧焊焊接成型,焊點打磨拋光處理,能保證膽內(nèi)密封性。

1.2.外殼材質(zhì):外部采用1.5mm厚優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板經(jīng)防銹處理后噴塑,也可選用不銹鋼材質(zhì)。

1.3.保溫材質(zhì):采用優(yōu)質(zhì)硅酸鋁棉,保溫厚度為150mm,保溫性能好。

1.4 載物層架:可根據(jù)石墨舟大小調(diào)節(jié)層間距,層架采用導(dǎo)向式,可抽拉至50%以上。層架采用厚度2.5mmSUS316L不銹鋼方管,表面特氟隆涂層。

2. 溫度控制系統(tǒng):PLC控制,人機界面顯示實時存放狀態(tài),溫度和時間可設(shè)置。帶超溫報警、風(fēng)機過流保護、相序和缺相保護、漏電保護、負載短路保護。

3. 控溫方式

3.1.信號來源:采用PT100傳感器±0.5%

3.2.輸出被控組件:SSR固態(tài)無節(jié)點輸出,確保加熱功率精準。

4.箱內(nèi)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)

4.1. 送風(fēng)方式:箱內(nèi)采用水平送風(fēng)。

4.2. 風(fēng)道結(jié)構(gòu):風(fēng)道兩側(cè)采用高密度沖孔風(fēng)板,精準控制導(dǎo)流板角度,確保箱內(nèi)溫度均勻性。

4.3. 送風(fēng)裝置:采用大功率三相異步耐高溫型長軸靜音馬達+大口徑不銹鋼渦輪扇葉,渦輪經(jīng)動平衡處理,確保運風(fēng)平穩(wěn) ,噪聲≤ 65dB。

4.4. 送風(fēng)裝置安全保護系統(tǒng):帶超溫過載過流保護功能,確保馬達及風(fēng)機的使用壽命和安全性能。

4.5  電加熱系統(tǒng):采用覆套式不銹鋼無塵化電熱發(fā)生器,潔凈不產(chǎn)塵。

5.潔凈循環(huán)系統(tǒng)

5.1在進氣口安裝耐高溫高效過濾器,0.5um直徑PARTICLE,過濾效率99.97%,箱內(nèi)潔凈度可達Class 1000。

5.2排氣口:排氣管尺寸100-150mm。用戶可選擇安裝強制抽風(fēng)機,以達到快速降溫效果。排氣口通道有防止冷凝液的滴落設(shè)計。

5.3壓差計:配有膜壓式氣壓表,顯示管道排風(fēng)壓力。

 6.電氣和安全保護系統(tǒng)

6.1. 采用三重超溫保護系統(tǒng),確保箱體在運行過程中的整體安全性能。

6.2. 加熱保護:超溫報警。

6.3. 超溫防止器(獨立限溫,超溫斷電);

6.4. 總電源相序和缺相保護。

6.5.馬達過電流保護;

6.6.電熱過電流保護;

6.7 采用三菱PLC,施耐德低壓電氣,歐姆龍相序繼電器等品牌電氣。

6.8 可選配MES系統(tǒng)。



產(chǎn)品展示


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公司優(yōu)勢

領(lǐng)軍品牌 實力保障

品牌實力品牌 多重保障

15年行業(yè)經(jīng)驗,專注研發(fā)生產(chǎn)半導(dǎo)體/太陽能光伏清洗設(shè)備

國家高新技術(shù)產(chǎn)品,率先通過ISO9001質(zhì)量體系認證

下設(shè)2個分廠:新余市奧曼特科技有限公司、無錫凌晶硅科技有限公司

銷售及服務(wù)網(wǎng)絡(luò)遍布全國,為您提供優(yōu)越技術(shù)培訓(xùn)·售后服務(wù)

專業(yè)研發(fā) 非標(biāo)定制

定制研發(fā)設(shè)計 非標(biāo)定制

由碩士高級工程師等組成的研發(fā)團隊,技術(shù)過硬,實力雄厚

建立國內(nèi)硅片切割加工設(shè)備生產(chǎn)實驗線

2007年“硅片旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機”評為國家高新技術(shù)產(chǎn)品

榮獲多項硅片加工設(shè)備專利,研發(fā)定制技術(shù)時刻保持行業(yè)前沿

非標(biāo)定制,可根據(jù)客戶需求進行量身定制清洗解決方案

匠心工藝 國際品質(zhì)

品質(zhì)匠心工藝 國際品質(zhì)

擁有超8000㎡專業(yè)化規(guī)模生產(chǎn)基地,設(shè)備齊全

嚴格按照ISO9001:2000標(biāo)準質(zhì)量管理體系進行設(shè)計·生產(chǎn)·服務(wù)

設(shè)備產(chǎn)品性能穩(wěn)定,使用壽命長,質(zhì)量可靠

自主研發(fā),自有工廠,廠家直銷,性價比高

免費定制 貼心售后

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壓縮機環(huán)形清洗機用于汽車空調(diào)壓縮機的清洗,也可用于其他小零件的環(huán)形清洗,結(jié)構(gòu)形式為環(huán)形鏈傳動步進。零件的清洗、吹干、干燥等均自動完成。工藝流程:上料—清洗—漂洗—壓縮空氣吹干—熱風(fēng)烘干—下料