一、產(chǎn)品特點及用途
1.產(chǎn)品特點
該設(shè)備是一種新型工業(yè)級潔凈干燥設(shè)備,采用獨特的內(nèi)外層分體結(jié)構(gòu)結(jié)合內(nèi)循環(huán)風(fēng)道設(shè)計,通過耐高溫超高效過濾器H.E.P.A不斷對內(nèi)部進行自凈化過濾,從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的高溫?zé)犸L(fēng)烘烤環(huán)境。
2. 產(chǎn)品用途
產(chǎn)品應(yīng)用于光伏行業(yè)PECVD石墨舟的烘干,是石墨舟酸清洗后烘干的必備設(shè)備。
二、產(chǎn)品詳細參數(shù);
1.箱體結(jié)構(gòu)
1.1.內(nèi)膽:材質(zhì)為厚度1.5mm的SUS316L不銹鋼,表面特氟龍涂層,涂層厚度60微米,使用過程不脫落。也可以根據(jù)客戶要求定制2507耐高溫耐腐蝕雙相不銹鋼,表面特氟龍涂層。箱體內(nèi)膽氬弧焊焊接成型,焊點打磨拋光處理,能保證膽內(nèi)密封性。
1.2.外殼材質(zhì):外部采用1.5mm厚優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板經(jīng)防銹處理后噴塑,也可選用不銹鋼材質(zhì)。
1.3.保溫材質(zhì):采用優(yōu)質(zhì)硅酸鋁棉,保溫厚度為150mm,保溫性能好。
1.4 載物層架:可根據(jù)石墨舟大小調(diào)節(jié)層間距,層架采用導(dǎo)向式,可抽拉至50%以上。層架采用厚度2.5mm的SUS316L不銹鋼方管,表面特氟隆涂層。
2. 溫度控制系統(tǒng):PLC控制,人機界面顯示實時存放狀態(tài),溫度和時間可設(shè)置。帶超溫報警、風(fēng)機過流保護、相序和缺相保護、漏電保護、負載短路保護。
3. 控溫方式
3.1.信號來源:采用PT100傳感器±0.5%。
3.2.輸出被控組件:SSR固態(tài)無節(jié)點輸出,確保加熱功率精準。
4.箱內(nèi)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)
4.1. 送風(fēng)方式:箱內(nèi)采用水平送風(fēng)。
4.2. 風(fēng)道結(jié)構(gòu):風(fēng)道兩側(cè)采用高密度沖孔風(fēng)板,精準控制導(dǎo)流板角度,確保箱內(nèi)溫度均勻性。
4.3. 送風(fēng)裝置:采用大功率三相異步耐高溫型長軸靜音馬達+大口徑不銹鋼渦輪扇葉,渦輪經(jīng)動平衡處理,確保運風(fēng)平穩(wěn) ,噪聲≤ 65dB。
4.4. 送風(fēng)裝置安全保護系統(tǒng):帶超溫過載過流保護功能,確保馬達及風(fēng)機的使用壽命和安全性能。
4.5 電加熱系統(tǒng):采用覆套式不銹鋼無塵化電熱發(fā)生器,潔凈不產(chǎn)塵。
5.潔凈循環(huán)系統(tǒng)
5.1在進氣口安裝耐高溫高效過濾器,0.5um直徑PARTICLE,過濾效率99.97%,箱內(nèi)潔凈度可達Class 1000。
5.2排氣口:排氣管尺寸100-150mm。用戶可選擇安裝強制抽風(fēng)機,以達到快速降溫效果。排氣口通道有防止冷凝液的滴落設(shè)計。
5.3壓差計:配有膜壓式氣壓表,顯示管道排風(fēng)壓力。
6.電氣和安全保護系統(tǒng)
6.1. 采用三重超溫保護系統(tǒng),確保箱體在運行過程中的整體安全性能。
6.2. 加熱保護:超溫報警。
6.3. 超溫防止器(獨立限溫,超溫斷電);
6.4. 總電源相序和缺相保護。
6.5.馬達過電流保護;
6.6.電熱過電流保護;
6.7 采用三菱PLC,施耐德低壓電氣,歐姆龍相序繼電器等品牌電氣。
6.8 可選配MES系統(tǒng)。