1． 采用了潔凈化處理技術，閥門、接頭和管道采用超純材料。
2． 工作腔、旋轉(zhuǎn)支架等采用316不銹鋼，并且表面電化學拋光處理。
3． 工作腔加熱和氮氣溫度控制。
4． 控制軟件具有故障實時顯示和報警功能。
5． 采用PLC和觸摸屏控制，整個過程智能化。
6． 伺服電機驅(qū)動。
7． 具有工藝菜單功能。