1． 采用了潔凈化處理技術(shù)，閥門、接頭和管道采用超純材料。
2． 工作腔、旋轉(zhuǎn)支架等采用316不銹鋼，并且表面電化學(xué)拋光處理。
3． 工作腔加熱和氮?dú)鉁囟瓤刂啤?br> 4． 控制軟件具有故障實(shí)時(shí)顯示和報(bào)警功能。
5． 采用PLC和觸摸屏控制，整個(gè)過(guò)程智能化。
6． 伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)。
7． 具有工藝菜單功能。