一家低調(diào)實干的大連本土企業(yè)，歷經(jīng)磨礪與沉淀終成產(chǎn)業(yè)振興之利器——近日，在南京舉辦的“2019世界半導(dǎo)體大會暨中國半導(dǎo)體市場年會”上，大連華邦化學(xué)有限公司的氣體純化器榮獲“中國半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)獎”。據(jù)悉，該企業(yè)是遼寧省最近兩年和大連市最近三年唯一獲此獎項的單位。

對于該企業(yè)的創(chuàng)始人、總經(jīng)理侯鵬來說，手捧獎杯的那一瞬間，讓他更自豪的是：咱們大連自主生產(chǎn)的超純氣體裝備，憑借世界領(lǐng)先的9N級純度和高穩(wěn)定性，實現(xiàn)了我國半導(dǎo)體高端裝備國產(chǎn)化領(lǐng)域的又一重大突破，由此打破了國外多年壟斷。

高純度氮氣、氫氣、氧氣、氬氣等氣體是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器和半導(dǎo)體器件等電子工業(yè)生產(chǎn)必不可少的原材料，而這些高純度電子氣體制備的關(guān)鍵設(shè)備——氣體純化器，目前世界上只有少數(shù)幾個國家能生產(chǎn)，并對我國限制出口。如被斷供，必將對中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展造成不可估量的影響。畢業(yè)后一直從事工業(yè)氣體設(shè)備研發(fā)和生產(chǎn)的侯鵬心里一直憋著一股勁：要拿出屬于中國人的9N氣體純化器，不再看外國企業(yè)的臉色！

2013年，從一間辦公室、五張辦公桌和6個人的創(chuàng)業(yè)團隊開始，侯鵬和他的伙伴開始了艱難的探索。其間歷經(jīng)研發(fā)失敗、市場冷遇，甚至競爭對手的不屑等等。但華邦團隊?wèi){借著“一生只為做好純化器”的信念，在大連半導(dǎo)體協(xié)會、市工信局、高新園區(qū)政府的扶持下，最終以世界一流的產(chǎn)品和服務(wù)傲然屹立于行業(yè)前端，打破半導(dǎo)體氣體純化行業(yè)的國外壟斷局面。

經(jīng)6年的努力，大連華邦化學(xué)公司的9N級氣體純化器，開辟出全新工藝制備技術(shù)路徑，可生產(chǎn)出9N級電子氣體，達到國際同類產(chǎn)品頂級水平，實現(xiàn)進口替代，而且價格比國際同類產(chǎn)品降低30%。據(jù)大連華邦化學(xué)公司技術(shù)總監(jiān)李文強介紹，目前，半導(dǎo)體領(lǐng)域芯片線寬已經(jīng)做到7到5納米，對氣體純度要求越來越高，氣體純度要求大于9N，相當(dāng)于是10億個氣體分子中，所包含的雜質(zhì)分子不能超過1個，這個純度在國際上僅有少數(shù)幾個企業(yè)的純化器能夠做到，目前我國也能做到了！

小企業(yè)承載大夢想。大連華邦化學(xué)公司的氣體純化器，如今已得到英特爾、海力士、京東方等十幾家國內(nèi)外頂級半導(dǎo)體企業(yè)的認(rèn)可和應(yīng)用。公司下一步將逐步向更廣闊的超純氣體應(yīng)用領(lǐng)域拓展。據(jù)侯鵬介紹，華邦純化器供不應(yīng)求，企業(yè)將啟動投資2億元的擴產(chǎn)計劃，目標(biāo)是將產(chǎn)能擴大到現(xiàn)在五倍，并且進一步加大科研投入，爭取在未來五到十年，在全領(lǐng)域上超越國際先進水平，滿足半導(dǎo)體技術(shù)更新?lián)Q代需求，為中國半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展保駕護航。