全自動(dòng)硅片旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)是根據(jù)國(guó)際、國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和市場(chǎng)需求，研究開(kāi)發(fā)的旋轉(zhuǎn)沖洗甩干設(shè)備。該機(jī)型具有高潔凈度旋轉(zhuǎn)沖洗甩干功能。本系列機(jī)型可以適應(yīng)從φ25mm 到φ200mm 直徑（包括方形和其它特殊形狀）片式材料的旋轉(zhuǎn)沖洗甩干工藝?？捎糜诎雽?dǎo)體晶片、砷化鎵材料、掩膜版、太陽(yáng)能電池基片、藍(lán)寶石、鈮酸鋰、光學(xué)鏡片、磁盤、光盤、醫(yī)用玻璃基片等類似材料的高潔凈度沖洗甩干。是半導(dǎo)體濕法清洗工藝中必不可少的主流設(shè)備之一。

設(shè)備利用旋轉(zhuǎn)離心力的方式進(jìn)行去離子水沖洗、熱氮?dú)夂娓桑?span>DI水電阻率監(jiān)控、氮?dú)饧訙?、防靜電控制以及系統(tǒng)潔凈化處理來(lái)達(dá)到高潔凈度的片子清洗效果。

設(shè)備由主機(jī)、相互獨(dú)立的工作腔體、片架載體、去離子水、氮?dú)饪刂葡到y(tǒng)，以及PLC控制和操作系統(tǒng)組成。

產(chǎn)品市場(chǎng)推廣應(yīng)用情況

1、產(chǎn)品市場(chǎng)應(yīng)用情況

因?yàn)樵撓盗性O(shè)備在系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、技術(shù)原理、設(shè)備造型等方面比較成功。同時(shí)在實(shí)施上瞄準(zhǔn)了國(guó)外先進(jìn)機(jī)型水平。性能指標(biāo)優(yōu)良、整體技術(shù)水平達(dá)到了國(guó)外同類設(shè)備的先進(jìn)水平。

2、系列化產(chǎn)品開(kāi)發(fā)

針對(duì)不同用戶、不同工藝需求、不同使用場(chǎng)合， 為了提高產(chǎn)品的競(jìng)爭(zhēng)力，針對(duì)市場(chǎng)情況，我們現(xiàn)正在抓緊系列旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)整合工藝功能，采納新技術(shù)，新工藝機(jī)型以及12″機(jī)型的進(jìn)一步開(kāi)發(fā)和完善。未來(lái)3年內(nèi)，腔式系列機(jī)型將初步形成一個(gè)可分別適應(yīng)高、中、低端不同市場(chǎng)、不同需求的多規(guī)格系列化產(chǎn)品，其中大部分開(kāi)發(fā)工作已經(jīng)完成。

腔式系列機(jī)型的研制開(kāi)發(fā)，必將提高我國(guó)行業(yè)裝備的戰(zhàn)略地位，深入貫徹落實(shí)科學(xué)發(fā)展觀，適應(yīng)國(guó)內(nèi)外形勢(shì)新變化，順應(yīng)各族人民過(guò)上更好生活新期待，以科學(xué)發(fā)展為主題，以加快轉(zhuǎn)變經(jīng)濟(jì)發(fā)展方式為主線，深化改革開(kāi)放，保障和改善民生，鞏固和擴(kuò)大應(yīng)對(duì)國(guó)際金融危機(jī)沖擊成果，促進(jìn)經(jīng)濟(jì)長(zhǎng)期平穩(wěn)較快發(fā)展和社會(huì)和諧穩(wěn)定，為全面建成小康社會(huì)打下具有決定性意義的基礎(chǔ)。推動(dòng)經(jīng)濟(jì)發(fā)展再上新臺(tái)階。對(duì)替代進(jìn)口，節(jié)約外匯，產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)化和滿足國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的需求及今后的發(fā)展均有十分重要的意義。除此，對(duì)現(xiàn)有國(guó)內(nèi)仍在使用的進(jìn)口設(shè)備維修及配套件更換，也有一定積極作用。同時(shí)，該產(chǎn)品無(wú)論從加工產(chǎn)品潔凈度和生產(chǎn)效率上都能較好地滿足半導(dǎo)體濕法清洗工藝的要求，在實(shí)際使用過(guò)程效果較佳，并拓寬了市場(chǎng)，在半導(dǎo)體工藝用片架、片盒及異型片類似產(chǎn)品等領(lǐng)域也得到技術(shù)提升和實(shí)際應(yīng)用。