1、潔凈化處理技術(shù)

先進(jìn)的旋轉(zhuǎn)沖洗甩干設(shè)備屬高潔凈度要求下的“微細(xì)”控制設(shè)備。因此，設(shè)備的潔凈化處理是系統(tǒng)內(nèi)各功能單元、部件、材料、加工工藝等眾多環(huán)節(jié)所要考慮的重要問(wèn)題。

     采用了以下消除顆粒和可能產(chǎn)生污染的措施:

(1)工作過(guò)程中清洗工作腔與外界密封隔離；

(2)工作腔及片架載體采用耐腐蝕不銹鋼電化學(xué)拋光；

(3)轉(zhuǎn)軸采用氮?dú)饷芊飧綦x；

(4)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的精密平衡；

(5)采用無(wú)刷伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)；

(6)精密減震及阻尼；

(7)管道、閥門(mén)接頭采用聚四氟材料和高純管件；

(8)去離子水采用電阻率監(jiān)控；

(9)工作中采用防靜電控制；

(10)設(shè)備在超凈間內(nèi)進(jìn)行裝調(diào)、減少和控制設(shè)備本身的污染。

2、大功率無(wú)刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)

大功率無(wú)刷電機(jī)是設(shè)備的核心部件之一,保證了設(shè)備的穩(wěn)定、可靠及滿足系統(tǒng)對(duì)高潔凈度處理的要求。

3、清洗工作腔體

工作腔體采用耐腐蝕不銹鋼加工。表面經(jīng)電化學(xué)拋光工藝處理。即可以滿足工藝對(duì)清洗腔體的使用要求,又使清洗工作腔體的浩凈度和防顆粒污染性能得到了較好的解決。

4、轉(zhuǎn)軸氮?dú)饷芊饧夹g(shù)

片子在沖洗甩干腔內(nèi)工作時(shí)，要有一個(gè)密閉而潔凈的環(huán)境空間轉(zhuǎn)軸處的密封即是隔離與腔體之間聯(lián)接的通道。

5、去離子水控制

旋轉(zhuǎn)沖洗過(guò)程要求在給定壓力、流量的條件下,必須達(dá)到要求的沖洗水流效果。同時(shí)可對(duì)水的電阻率值進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控測(cè)量以判斷和給定相關(guān)工藝參數(shù)和工藝時(shí)序。

在結(jié)構(gòu)上,采用聚四氟管道閥體設(shè)計(jì)采用了8個(gè)旋流式?jīng)_洗噴嘴。在排水口設(shè)置有電阻率測(cè)試單元,用來(lái)檢測(cè)腔體內(nèi)片子沖洗過(guò)程的狀態(tài)變化。

6、防靜電控制

片子在清洗甩干過(guò)程中由于高壓水噴射沖洗和高速旋轉(zhuǎn)甩干的作用會(huì)在片子表面產(chǎn)生靜電,一是容易形成顆粒吸附影響沖洗效果;二是產(chǎn)生的靜電可能破壞高敏感度器件的性能。

7、防震隔震技術(shù)

減膜隔震的目的是盡量減少由于系統(tǒng)振動(dòng)而產(chǎn)生的顆粒污染,在系統(tǒng)中首先對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)軸系做了精密的動(dòng)平衡處理(包括片架在內(nèi))。保證系統(tǒng)工作時(shí)的平衡性和減少振源的產(chǎn)生。

轉(zhuǎn)動(dòng)軸系的減振阻尼材料采用減震率可達(dá)80%以上，寬使用頻率的特種阻尼器。從使用效果

對(duì)比來(lái)看，完全達(dá)到了使系統(tǒng)具有良好減震效果的目的。

8、系統(tǒng)控制技術(shù)

以CXS-250型旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)為例,本機(jī)設(shè)有兩套相互獨(dú)立的電控單元以分別控制兩個(gè)腔體作獨(dú)立運(yùn)行。

控制系統(tǒng)采用可編程控制器它由中央處理單元模塊、數(shù)字號(hào)輸入輸出模塊模擬號(hào)輸入輸出模塊以及液晶顯示器所組成可以方便、可靠的完成系統(tǒng)性能、功能對(duì)控制單元的要求。

9、安全及防護(hù)處理

該設(shè)備的功能是在高速旋轉(zhuǎn)下由水、氣、電各功能模塊、功能單元相互有序協(xié)調(diào)作用而完成的。它對(duì)設(shè)備的可靠性、安全性以及操作者的防護(hù)有嚴(yán)格的要求。在設(shè)計(jì)上主要采取了水、氣過(guò)程狀態(tài)監(jiān)控、門(mén)位置狀態(tài)監(jiān)控與互鎖、氮?dú)饧訜釡囟缺O(jiān)控、工作腔體溫度監(jiān)控緊急停止開(kāi)關(guān)等相關(guān)措施。

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