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全自動(dòng)半導(dǎo)體硅片甩干機(jī)維護(hù)事項(xiàng)

作者: 編輯: 來(lái)源: 發(fā)布日期: 2018.08.20
信息摘要:
全自動(dòng)半導(dǎo)體硅片甩干機(jī)維護(hù)事項(xiàng):1、按下屏幕右方的OPEN鍵,使甩干機(jī)上蓋打開(kāi)2、切斷設(shè)備的電源3、用14#扳手把甩盤卸下4、用無(wú)塵紙清理腔…

全自動(dòng)半導(dǎo)體硅片甩干機(jī) 維護(hù)事項(xiàng):

甩干機(jī)8-17

1、按下屏幕右方的OPEN鍵,使甩干機(jī)上蓋打開(kāi)

2、切斷設(shè)備的電源

3、用14#扳手把甩盤卸下

4、用無(wú)塵紙清理腔內(nèi)碎片

5、用百潔布將甩盤下及周圍的銹跡清理干凈

6、用無(wú)塵紙沾用酒精將腔內(nèi)、甩盤及周邊清理干凈

7、用14#扳手將甩盤裝到設(shè)備上

8、檢查排廢管道是否漏液,如漏液需上緊接頭或更換管道 

9、水管道是否漏水,如果是請(qǐng)重新上緊或更換水管

10、檢查氮?dú)鈮毫κ欠癖3衷?/span>0.4-0.6MPA

11、檢查控制面板上的各種操作按鈕,如有損壞及時(shí)更換

12、檢查及清潔電氣原器件,避免造成漏電及局部短路,接觸不良

13、保證設(shè)備可靠接地

14、整理現(xiàn)場(chǎng)

15、對(duì)設(shè)備通電,試機(jī)

 使用中注意事項(xiàng):不要把工具等落在甩盤內(nèi)

                            電機(jī)上的契型帶半年需更換一次

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